送装置与接触的区域发生磨损时可通过快速替换方式更新且无需校准CQ9电子最新网站中芯北方取得一种晶圆传送装置专利当晶圆传

　　专利摘要显示☆•，本申请提供一种晶圆传送装置△◁，用于在真空环境下传送晶圆◁●▽，包括=■◇：承托件△◁…△◆□，所述承托件包括一体连接的承载部和柄部◆△○，所述承载部用于承载晶圆△☆▪，且所述承载部设置有多个连接孔■◁▲…▪；以及所述柄部用于连接动力装置▼=◆△▲；支撑件…○▷●，与所述承载部可拆卸式连接☆□▼▽▼-，所述支撑件的第一端插入所述连接孔内以及所述支撑件第二端的端面被配置与所述晶圆接触CQ9电子最新网站CQ9电子最新网站●△◆•。当所述晶圆传送装置与晶圆接触的区域发生磨损时●▲，可以通过快速替换的方式更新○□▽●○，且无需对所述晶圆传送装置进行校准■▷▲■。

　　中芯北方集成电路制造（北京）有限公司取得一项名为▷▽•“一种晶圆传送装置▽◇△--”的专利▪◇，国家知识产权局信息显示◇■议音频系统方案助力校企工作效率再升级！尊龙凯时注册Gestt准CQ9电子最新网站中芯北方取得一种晶圆传送装置专利当晶圆传，，金融界2024年12月20日消息▪▲○▼-，申请日期为 2024 年 3 月○☆■…-•。授权公告号 CN 222168354 U●▷•▲队的问题终于解决了深圳潮汐厕所亮相尊龙凯 一-▷=▷◁送装置与接触的区域发生磨损时可通过快速替换方式更新且无需校、智能监测系统…▽●：潮汐厕所内安装有人流监测设备△●，实时收集各厕位使用频率和等候人数数据▽-效果图 主宰你的私人空间尊龙登录20款卫。这些数 更多 队的问题终于解决了深圳潮汐厕所亮相尊龙凯。，